设备名称

场发射扫描电子显微镜 （ER-SEM&EDS）

收费标准

纯形貌：200元/样；400元/小时

形貌+能谱：60元/点

喷金：20元/次

元素分析（EDS）：
EDS元素分析50元／感兴区域
EDS元素分布(Mapping) 75元／线扫
EDS元素分布(Mapping) 100元／面扫

规格/型号

日立*/S-4800

性能指标

1. 二次电子分辨率：1.0nm (15 kV)； 1.4nm(1 kV, WD = 1.5mm, 减速模式)；2.0nm (1 kV, WD = 1.5mm, 普通模式） 2. 放大倍数：低倍模式：×20~ ×2,000，高倍模式：×30~ ×800,000 3. 电子枪：冷阴极场发射电子源 4. 加速电压：0.5~30kV 5. 样品台：X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+30° R:360° 6. 信号选择：SE（二次电子）信号，X射线信号

主要应用

1.材料表面形貌观察：显微结构、尺寸及相互作用、相组成及相分布； 2.材料成分分析：元素定性分析、定量分析、线分析、面分析； 3.可以检测的元素范围B5～U92。

样品要求

样品不得具有磁性，并且不易被磁化。样品中不得含有水分，高度小于15mm，直径小于30mm。多孔类或易潮解的样品，请提前真空干燥处理。样品能与样品台牢固粘结，具有导电性，若样品不导电，需要进行镀铂导电膜的处理（本中心也提供镀膜服务，但需要另行收费）。同一次装入电镜的样品高度差不要超过1.5mm。

仪器说明

冷场发射扫描电镜S-4800能实现对各种固态样品表面形貌的观察，获得表面形貌的二次电子像；能对材料学、化学、生物科学等领域的物质表面形貌、尺寸及成分进行分析。